Il plasma, gas in forma parzialmente ionizzata, è il 4° stato della materia.
Si forma quando un gas, o un vapore, è esposto ad un campo elettrico che ne frammenta le molecole in specie attive (atomi, radicali, ioni, elettroni).
A basse (10-1000 mTorr) o, in alcuni casi, ad alte pressioni, la temperatura del gas rimane bassa, e si parla di plasmi freddi. Ne sono esempio l’Aurora Borealis e le luci al neon. Quando il plasma freddo è uniforme si usa il termine glow discharge (scarica a bagliore).
A pressioni maggiori si formano, invece, plasmi termici, che possono raggiungere temperature di migliaia di gradi, ad esempio nelle stelle.
Le specie attive dei plasmi freddi modificano la superficie di materiali termolabili come polimeri, carta, tessuti, etc. senza alterarne le proprietà massive, in tre diversi tipi di processi:
Deposizione di film sottili (PE-CVD);
Etching (ablazione superficiale);
Grafting (innesto di gruppi funzionali, crosslinking).